光刻機(jī)又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻,是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備,每顆芯片誕生之初,都要經(jīng)過光刻技術(shù)鍛造,簡(jiǎn)單地說,光刻機(jī)就是把工程師的設(shè)計(jì)‘刻印’在基底材料-硅片上,在2—3平方厘米的方寸之地集成數(shù)十億晶體管。
光刻機(jī)‘刻印’處理過的硅片再經(jīng)過蝕刻機(jī)加工,通過化學(xué)反應(yīng),物理撞擊作用移除廢棄‘硅片’上的廢棄部分,再經(jīng)歷某些封裝工藝,神奇硅片材料變廢為寶,變成價(jià)值高昂的-電子芯片。
因?yàn)橹芘d的關(guān)系5納米級(jí)蝕刻極量產(chǎn)可期,光刻機(jī)成為眾人心中的重中之重,如果光刻機(jī)再有所突破,那么芯片領(lǐng)域會(huì)和高鐵領(lǐng)域一樣,突破西方國家封堵完成彎道超車。
“不過什么?有話快說,別賣關(guān)子?!眹?yán)教授瞪著周興,催促地問:
“光刻機(jī)我是有研究過,不過,暫時(shí)沒別的想法?!敝芘d看了嚴(yán)教授一眼,淡淡地說:
聞言,在場(chǎng)眾人面色一松,露出意料之中的神色,臉上又帶了一絲遺憾,神色復(fù)雜。
5納米級(jí)蝕刻機(jī)的量產(chǎn)工藝被周興攻克,如果連光刻機(jī)也被周興突破了,那他的研發(fā)能力未免也太嚇人了。
光刻機(jī)可比蝕刻機(jī)復(fù)雜多了,芯片的核心是光刻機(jī),光刻機(jī)的核心是鏡頭,目前世界主流的光刻機(jī)還是深紫外侵入式光刻機(jī),這個(gè)技術(shù)的極限是14納米級(jí)以上,10納米以下的光刻機(jī)則要用到極紫外光刻(euv)技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)即使國外巨頭都尚處于實(shí)驗(yàn)室向商業(yè)化發(fā)展的階段,鴻溝般的巨大差距不是輕易就能跨越的。
眾人失望之余,又覺得理所當(dāng)然。
“暫時(shí)沒別的想法?你的意思是你還是有想法的咯?”與其他人不一樣,嚴(yán)教授格外留意周興的回答,步步緊逼地問:
“嚴(yán)老,我們還是先把蝕刻機(jī)量產(chǎn)工藝拿下再說吧!研發(fā)嘛,總要一步一步來,不要好高騖遠(yuǎn)嘛!”迎著嚴(yán)教授探究的目光,周興神秘地笑了笑,避重就輕地說:
有周小智這個(gè)研發(fā)輔助利器,又有虛擬實(shí)驗(yàn)這個(gè)優(yōu)質(zhì)的研究環(huán)境,系統(tǒng)任務(wù)還尚未結(jié)算,如果有需要,研發(fā)極限納米級(jí)的光刻機(jī)難度也算大,不過,還是得控制一下節(jié)奏,不然被‘相關(guān)機(jī)構(gòu)’抓去切片研究就得不償失了。
“你小子奸猾似鬼,心里現(xiàn)在肯定在想別的鬼主意!”嚴(yán)教授瞪著周興不相信地說:
“好啦!老嚴(yán)別再為難小興了,時(shí)機(jī)到了該發(fā)生的事情自然而然就會(huì)發(fā)生?!狈浇淌诳扌Σ坏玫乜粗鴩?yán)教授,插話道:
“是啊,現(xiàn)在手頭上的事情比較重要,我們趕緊把這臺(tái)新式蝕刻機(jī)試造出來。”徐教授精神振奮地說:
“對(duì)了,老嚴(yán),這件事還沒跟鄭主任匯報(bào)吧?你趕緊跟溝通一下?!眲⒔淌谕蝗幌氲搅耸裁矗嵝褔?yán)教授道:
“嗯,我馬上通知他?!眹?yán)教授愣了一下,連忙拿起手機(jī)走到一旁撥打起來:
老頑固嚴(yán)教授被劉教授支開了,現(xiàn)場(chǎng)畫風(fēng)突然一變。
“小興,系統(tǒng)撞擊模塊我剛才沒聽清楚,你再跟我講一下?!焙淌谙蛑芘d詢問道: