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1991從芯開始 第143章 雙工件臺的設(shè)想

在實驗室內(nèi),蘇遠(yuǎn)山遇到了意想不到的人。
  
  “鄭叔?”
  
  鄭振川正帶著研究員站在原子力顯微鏡前觀察著什么,這讓蘇遠(yuǎn)山頗有些驚訝。按理說鄭振川這邊用不著原子力顯微鏡的。
  
  蘇遠(yuǎn)山建的物理實驗室當(dāng)然不是只有他自己用,而是統(tǒng)一歸于科技園實驗室中心管理。任何人只要打個申請就能使用。
  
  “我來分析一下第一次曝光后的硅晶圓表面?!编嵳翊ê呛切Φ馈?br/>  
  “喔,那你們繼續(xù)?!碧K遠(yuǎn)山?jīng)Q定不打擾對方。
  
  “沒事,我們已經(jīng)弄完了。”鄭振川走向蘇遠(yuǎn)山,想了想道:“小蘇,你上次提到的雙工件臺設(shè)想,我們所里考慮了一下,發(fā)現(xiàn)難度很大,感覺根據(jù)現(xiàn)有的條件走不通。但一旦實現(xiàn)的話,確實對于光刻機來說,會是一個極大的提升?!?br/>  
  “嗯,沒錯。終于走不走得通……”蘇遠(yuǎn)山笑了笑:“我們先不忙考慮其他,僅從設(shè)計角度上來說,可以設(shè)計出這樣的機械裝置來配合光刻機嗎?”
  
  鄭振川笑道:“這當(dāng)然可以,只要是機械,就沒有設(shè)計不出來的。無非是精度、效率、體積罷了?!?br/>  
  “那不就結(jié)了?”蘇遠(yuǎn)山攤手:“總得先試試,精度效率先不管,先管體積,先搞出來再說?!?br/>  
  “只是那非一朝一夕啊。”
  
  “慢慢來嘛?!碧K遠(yuǎn)山呵呵一笑:“我出錢的都不著急呢,這玩意哪怕十年弄出來也沒啥。但只要弄出來了,那就是大殺器,對吧?”
  
  鄭振川笑著點了點頭:“確實?!?br/>  
  蘇遠(yuǎn)山呵呵一笑。
  
  asml之所以橫掃全球,除了率先搞出193nm浸潤式光刻機之外,雙工件臺也是它的獨門絕活。國內(nèi)是直到2020年了才搞了出來……
  
  蘇遠(yuǎn)山知道這些技術(shù)的難度,所以他壓根不急,而且也沒有辦法著急。
  
  遠(yuǎn)芯現(xiàn)在的研發(fā)底子和投入絕對是國內(nèi)企業(yè)的頂級水準(zhǔn),但比起國外,還真的有差距。
  
  這個差距不是體現(xiàn)在投入,而是體現(xiàn)在人才方面。
  
  國外一來有著技術(shù)積累優(yōu)勢,二來有著知識積累的優(yōu)勢,還有著廣納人才的優(yōu)勢。而遠(yuǎn)芯這邊,除了芯片設(shè)計領(lǐng)域之外,其他領(lǐng)域都只有靠蘇遠(yuǎn)山的“前瞻眼光”來完成超越。
  
  說白了,就是蘇遠(yuǎn)山只能讓人不走繞路。但路哪怕再直,也得一步步走下去。
  
  所以這個科技園,算是蘇遠(yuǎn)山強行在用錢砸。
  
  好在國內(nèi)人力成本便宜,所以遠(yuǎn)芯能輕松養(yǎng)起上千個研究員。
  
  但除了人力成本,其他的可就不便宜了,遠(yuǎn)芯這邊蓋樓加建立實驗室,又給無塵室實驗室購買了蝕刻拋光離子注入等設(shè)備,雖然都是二手的,但整體下來,十幾個億的人民幣就沒了。
  
  這還沒算各個課題組的投入。
  
  這時蘇遠(yuǎn)山大哥大響起,他拿起電話,對鄭振川笑道:“鄭叔,你們安心搞你們的,錢這邊我來想辦法?!?br/>  
  “行?!?br/>  
  退出實驗室,蘇遠(yuǎn)山摁下接聽鍵。
  
  “你好?!?br/>  
  電話中,一個略帶著一些緊張,又有些期待的聲音響起。
  
  “你好,大佬!”
  
  蘇遠(yuǎn)山微微一怔,臉上迅速彌漫起笑意來。
  
  他快步走進(jìn)隔壁的辦公室,然后關(guān)上了房門。