這是硅烷熱分解制備高純度多晶硅的最后一道關(guān)鍵工序,硅烷廠通過特制的不銹鋼管道,把硅烷送到硅烷分解工廠中的分解爐,分解爐里的溫度正好是硅烷的分解溫度,850―900攝氏度之間,在這個(gè)溫度區(qū)間,硅烷被分解并沉積出高純度多晶硅和高純度的氫氣,氫氣毫不疑問是要被抽走冷卻回收并在利用的。
硅烷和氫氣都是易燃易爆的氣體,而分解爐的溫度高達(dá)近千攝氏度,不用說誰都可以看出來這最后一道的硅烷分解工序在多晶硅生產(chǎn)過程中是最為危險(xiǎn)的一道工序。
整個(gè)吸附系統(tǒng)以及分解室都要有高度的嚴(yán)密性,必須把空氣完全隔絕,否則稍微有一點(diǎn)空氣進(jìn)入到高溫的分解爐中,都會引起爆炸和燃燒的危險(xiǎn)。
這也是為什么凌世哲堅(jiān)決要求把硅烷工廠和分解工廠必須給分開的原因,這完全是從生產(chǎn)安全的角度來考慮的。
介紹完硅烷分解制造多晶硅的整套工藝技術(shù),你們肯定會問,這個(gè)硅烷如此危險(xiǎn),為什么還是最安全的生產(chǎn)方法呢?答案在于西門子公司發(fā)明的三氯氫硅還原制備高純硅法,比硅烷熱分解制備高純硅法更加的危險(xiǎn)。
西門子公司發(fā)明的三氯氫硅制備高純硅法,在生產(chǎn)過程中不但需要大量的易燃易爆的高純度氫氣,更需要大量的**,而**和是劇毒物質(zhì),人吸入一點(diǎn)點(diǎn)都會中毒。
除了這兩樣之外,還要對氯化氫進(jìn)行制備,而氯化氫的生產(chǎn)是通過氫氣與**的燃燒而生成的,光是氯化氫的生產(chǎn)過程就相當(dāng)?shù)奈kU(xiǎn),氯化氫還是具有強(qiáng)腐蝕性的氣體,與水就會生成鹽酸;不管是氣體還是酸,人的皮膚挨著一點(diǎn)都會發(fā)生潰爛。
還有三氯氫硅跟硅烷一樣也是易燃易爆氣體,在空氣中它會劇烈發(fā)煙,更關(guān)鍵的是它的燃點(diǎn)只有二十八攝氏度,它易揮發(fā)、易氣化,其蒸氣有弱毒性,對人體有害。
況且,三氯氫硅在還原的過程中,會產(chǎn)生大量的有毒產(chǎn)物,例如:氯化氫、氫氣、四氯化硅等;比起硅烷只產(chǎn)生氫氣這個(gè)附屬產(chǎn)物來說,三氯氫硅的副產(chǎn)物會對高純硅產(chǎn)生污染影響硅的純度。
通過以上種種對比,我們完全可以看出,硅烷熱分解制備高純硅生產(chǎn)法在安全性上要比西門子法要安全的多,可靠的多。
硅烷分解廠的負(fù)責(zé)人是王炳坤的下屬,正陪著凌世哲站在分解爐旁。這臺分解爐體型很大,是在后世被廣泛使用的高頻感應(yīng)等離子硅烷分解爐。它包括分解爐筒體、高頻等離子燈具、感應(yīng)線圈以及高頻感應(yīng)配電箱;其中,高頻等離子燈具收容于分解爐筒體內(nèi),其通過冷卻密封組件與高頻感應(yīng)配電箱相連接,并利用高頻等離子燈具對硅烷氣體進(jìn)行加熱來制作高純硅,它的優(yōu)點(diǎn)是避免了高溫氣體與金屬的直接接觸,減少了污染,能大幅提高多晶硅的純度。
一根八分粗的不銹鋼管道與分解爐相連接,李耀文對凌世哲解說道:“凌少,這根管道就是硅烷的輸送管道,這根管道與分解爐相連,硅烷就是從這里進(jìn)入分解爐里面,被分解沉積為多晶硅。為了最大的保證硅烷在管道輸送途中的完全,在硅烷通過管道運(yùn)輸之前,我們還加入了氫氣以稀釋硅烷的濃度,從而避免在管道運(yùn)輸過程中因摩擦起熱而產(chǎn)生爆炸、燃燒的危險(xiǎn)?!?br/>
凌世哲卻聽得皺起了眉頭,對李耀文說道:“硅烷管道運(yùn)輸前,加氫氣稀釋硅烷濃度,是那個(gè)教你這么做的?”
李耀文心里一緊,弱弱的說道:“是王廠長要求的,說這樣可以最大程度的保證安全。”
“你去通知王炳坤,叫他過來?!闭f完后,凌世哲沒有理睬傻愣著的站在一旁的李耀文,直接和克里斯托弗、王海華兩人走進(jìn)了一邊的值班休息室。
看到凌世哲臉上沒有任何表情,李耀文也不知道是福是禍,急忙回到他自己的辦公室給王炳坤打了個(gè)電話。
等了十來分鐘,王炳坤饅頭大汗的跑了過來,來的值班室看到凌世哲正坐在值班椅子上看著員工每個(gè)一小時(shí)抄寫的分解爐二十四小時(shí)值班運(yùn)行記錄,旁邊站著三個(gè)值班的工人大氣也不敢出,克里斯托福坐在凌世哲的旁邊,王海華興趣盎然的看著墻上的安全運(yùn)行規(guī)程,李耀文站著凌世哲對面,點(diǎn)頭哈腰不斷的擦汗。
看到李耀文這幅樣子,他心里咯噔一下,壞了,當(dāng)且走到李耀文面前張口罵道:“李耀文,我不是跟你說過嗎,值班運(yùn)行記錄要認(rèn)真填寫,馬虎不得,你怎么就是不聽呢,還有你們……”
“嗯……”凌世哲出聲打斷了他,說道:“誰說他們的值班運(yùn)行記錄有問題啊?”
“啊……那凌少你是?”王炳坤不解的看著凌世哲問道。
“值班運(yùn)行記錄他們做的很好,我沒有批評他們是在夸獎(jiǎng)他們?!?br/>
“不敢,不敢凌少,這是他們應(yīng)該做的,要是連做個(gè)記錄都做不好,那還要他們有什么用,干脆回家抱孩子算了。”聽到凌世哲不是在批評,而是在肯定他們的工廠,王炳坤一下子松了一口氣。
凌世哲把值班運(yùn)行記錄合上,問道:“我聽李耀文講,你們在硅烷進(jìn)行管道輸送前,為了保證安全,向硅烷里加了氫氣來稀釋濃度是嗎?”
“是的,我覺得這樣更加安全?!蓖醣ご鸬?。
凌世哲搖了搖頭,說道:“沒必要加氫氣,鋼瓶運(yùn)輸才需要加氫氣來稀釋濃度以保證運(yùn)輸?shù)陌踩?,管道運(yùn)輸不需要,況且這么一點(diǎn)距離,對硅烷沒有絲毫的影響,把氫氣撤了,直接以高濃度輸送就行。還有,分解工廠跟硅烷工廠不應(yīng)該分開,并在一個(gè)廠里就行,只需要保證硅烷的制備和分解區(qū)放在工廠里兩頭就行了,沒有想到你們居然把他給分開了?!?br/>
王炳坤看了看克里斯托弗,后者舉起手說道:“boss,是我這樣安排的,我認(rèn)為這樣更加安全。”
凌世哲搖了搖頭說道:“這樣一來反而不安全了,硅烷制備和硅烷分解搞成兩個(gè)工廠不是好選擇,看起來把他們分開好像很安全,其實(shí)一點(diǎn)作用都沒有,不管那一座工廠發(fā)生爆炸,另一座工廠都不能幸免,兩個(gè)工廠的距離太近了。而且這樣一來,管道運(yùn)輸?shù)木嚯x也變長了,運(yùn)輸風(fēng)險(xiǎn)反而加大,如果把兩個(gè)工廠從一開始就合并在一起,制備、提純、分解一條龍下來,根本就不需要在管道中加入什么氫氣來稀釋硅烷的濃度來保證運(yùn)輸?shù)陌踩?。?br/>
克里斯托弗捂著臉,懊悔的說道:“抱歉boss,我辦砸了,我當(dāng)初看到你給的資料的時(shí)候,以為你是要把他們給分開,所有我……”
“分開是沒有錯(cuò),它們本來就應(yīng)該分開,但我沒讓你把它們分成兩個(gè)廠,算了這是小事”凌世哲拍了拍克里斯托弗的肩膀,指著墻上的地圖說道:“我們公司對單晶硅的需求是很大的,多晶硅工廠肯定會擴(kuò)建的,你把分解車間放在這里也好,把這里和那邊的硅烷廠,把這片區(qū)域干脆就全部劃進(jìn)來,作為未來的多晶硅生產(chǎn)基地,你看怎么樣。”
克里斯托??戳讼碌貓D,對凌世哲說道:“很不錯(cuò)的規(guī)劃,boss。我會去找最專業(yè)的設(shè)計(jì)公司來做詳細(xì)的規(guī)劃,來彌補(bǔ)我的過錯(cuò)。”
“你的問題不算錯(cuò)誤,是錯(cuò)有錯(cuò)著?!绷枋勒懿粫炙?,硅烷熱分解制備高純硅法是在新世紀(jì)才出現(xiàn)的,凌世哲應(yīng)把它拿到這個(gè)時(shí)代來,人們面對這套完全陌生的工藝技術(shù),難免會發(fā)生這樣那樣的錯(cuò)誤,這是誰也避免不了的,只要沒有嚴(yán)重的設(shè)計(jì)缺陷和生產(chǎn)安全事故發(fā)生,凌世哲允許他們犯點(diǎn)錯(cuò)。一點(diǎn)錯(cuò)都不犯,是不現(xiàn)實(shí)的,更不可能會成長起來。
“分解廠的員工做得不錯(cuò),照著硅烷廠的例,三個(gè)月的薪水作為獎(jiǎng)賞,今明兩晚上在聚福樓吃大餐,好了,我走了?!?br/>
回去的路上凌世哲的車走的是另一邊,直接去了趙曉蕓的家。
凌世哲脫掉外套,趙曉蕓伸手接過,掛在衣架上,又給他沖了杯茶,說道:“今天晚上你想吃點(diǎn)什么?我給你做?!?br/>
“不用了,晚上工廠的員工們聚餐,我的過去?!碑?dāng)下凌世哲就把今天獎(jiǎng)勵(lì)員工的事情說了一遍。
聽到凌世哲晚飯要出去吃,趙曉蕓的心情一下就不好了起來,隔了一會問道:“那吃完了飯你還過來嗎?”
“這幾天我都會住在這里,你晚上也陪我過去吧?!?br/>
“嗯……”聽到凌世哲要帶她去赴晚宴,心情立馬又高興了起來,依偎凌世哲的懷里說道:“對了,聽說二哥要把院線給賣了,你知道這事嗎?”
“賣院線,好好的他怎么會賣院線?他的院線不是經(jīng)營的好好的嗎,怎么突然想賣了,什么時(shí)候的事?”
“一個(gè)星期前。”
“是什么原因要賣,賣香港的,還是馬來西亞,還是菲律賓的?”
“全賣了,聽說沒有片源可放,每天都在虧損,撐了差不多一年了,撐不下去了就打算賣掉?!?br/>
凌世哲聽到做起身來說道:“他不是一直跟在放邵氏的影片嘛,怎么會沒有片源了,難道邵氏不給他,為什么?”
趙曉蕓嘆了口氣說道:“還記得去年上映的《唐山大兄》嗎?”
,