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插陰互插 光源嗎王向中聞言也是陷

    “光源嗎……”王向中聞言,也是陷入了思索當(dāng)中。

    的確是如林堅(jiān)博士說的那般,照明系統(tǒng),也就是光源,才是真正制約光刻水平發(fā)展的關(guān)鍵因素,其它的事情都能想辦法取巧,無論是浸潤式光刻,亦或是衍射光柵,它都是基于現(xiàn)有光源條件下的改良法。

    而高壓汞燈的365nm光波波長就決定了,它不可能制作出100nm以下制程的CPU,具有非常嚴(yán)重的時(shí)代局限性。

    現(xiàn)在國際上最尖端的ArF光刻機(jī)所采用的DUV光源波長已經(jīng)下降到了193納米,從理論數(shù)值來計(jì)算,它最高可將分辨率提升到65nm,也就是目前全球最先進(jìn)光刻工藝的極限。

    現(xiàn)在用i線光刻機(jī),還用高壓汞燈這一套,不可能斗得過他們。

    “您說得有道理,不過也未必,也許華夏今后幾年就能跟上,把深紫外線照明系統(tǒng)給研究到位呢?”王向中半開玩笑道。

    林堅(jiān)聞言也是搖了搖頭,道:“深紫外線照明沒有這么簡單。我看你們的資料,目前你們還在研究氣壓對(duì)成像系統(tǒng)的影響研究,不要怪我講話難聽,這種技術(shù)也就只能用于g線和i線光刻機(jī)上?!?br/>
    “DUV深紫外線,也就是波長低于350納米的電磁波,是用不到這項(xiàng)研究的,”他補(bǔ)充道:“尤其是VUV真空紫外(波長低于350納米的電磁波)技術(shù),只能在真空環(huán)境下使用,所以和氣壓毫無關(guān)系,這個(gè)你明白吧?”

    “明白?!蓖跸蛑新勓砸彩菄@了一口氣,要不是因?yàn)闆]有其它辦法,誰會(huì)愿意一直把目光聚焦于i線光刻機(jī)的改良啊?

    “我聽陳正他講過,你們?cè)谘芯抗饪虣C(jī)改良,所以才把我從阿美瑞肯叫了回來,讓我?guī)湍愕拿?,不過現(xiàn)在看來,華夏距離先進(jìn)還差得很遠(yuǎn)哦?!绷謭?jiān)搖頭道。

    這話倒不是在嘲諷華夏的落后,這林堅(jiān)博士所說的的確是事實(shí),華夏想要真正自主制造出光刻機(jī),還有很長的一段路要走。

    不過在理論研究和實(shí)驗(yàn)研究上,此時(shí)的華夏可還一點(diǎn)兒都不輸給西方國家!

    “林博士您多慮了,其實(shí)華夏研究工作還是很到位的,最首先——華夏還是具有制造深紫外線激光器的能力的,至少在實(shí)驗(yàn)室中有這個(gè)能力。”王向中笑道。

    “實(shí)驗(yàn)室里能造出來的意義不大啊,”林堅(jiān)倒是對(duì)這個(gè)說法感到并不意外,在實(shí)驗(yàn)室不計(jì)成本地做一套零部件,以華夏的能力還是可以的,“只要不能量產(chǎn),再厲害的技術(shù)也只是紙上談兵而已?!?br/>
    “沒關(guān)系,路都是一步一步走出來的嘛,”王向中倒是很樂觀,“我們改進(jìn)康尼的光刻機(jī)肯定是用不到換光源模塊了,如果要用得著這玩意的話,就必須開始獨(dú)立自主制造光刻機(jī)了。”

    “啥?”林堅(jiān)聽得眼睛都快發(fā)直了,“你說話怎么這么靠北哦,還獨(dú)立自主制造光刻機(jī),目前能把一塊鏡片做好都不錯(cuò)了?!?br/>
    王向中聽到林堅(jiān)的質(zhì)疑也是樂了,顯然對(duì)方還沒理解過來自己的最終愿望和目的所在,于是便避開了這個(gè)話題,道:“您看,除了光源以外,咱們還有什么可以改進(jìn)的地方嗎?”

    林堅(jiān)聞言也是搖了搖頭,道:“這臺(tái)NSR-1010G已經(jīng)是康尼80年代的淘汰產(chǎn)品了,說實(shí)話,我都沒想過它的潛力能開發(fā)到這個(gè)地步,我想大概是沒有什么改進(jìn)的必要了,還不如買新的設(shè)備?!?br/>
    “好吧……”王向中也沒想到,林堅(jiān)居然有些瞧不起這堆寶貝——盡管在對(duì)方看來,是一堆破銅爛鐵,不過在當(dāng)下這個(gè)節(jié)骨眼上,華夏也就這些東西可以用了,自從前年瓦森納協(xié)議一簽之后,華夏就再也沒進(jìn)口過任何高精尖產(chǎn)品。

    “不過我還是想請(qǐng)教您一個(gè)問題,假如說,我真的想自主研發(fā)一款DUV接近式光刻機(jī),那我應(yīng)該先做什么?”他神情嚴(yán)肅,目光中閃爍著前所未有的認(rèn)真神色。

    林堅(jiān)本來想回應(yīng)一句先做夢(mèng),不過在看到對(duì)方那滿是認(rèn)真神色的光芒后,也是愣了片刻,旋即輕輕嘆了一口氣,道:“如果真的要做光刻機(jī)的話,我的建議是先找激光器、鏡頭和光刻膠這三個(gè)突破口,有了這三個(gè)東西以后,其它的電機(jī)和機(jī)械結(jié)構(gòu)之類的東西,做起來比較更容易一些?!?br/>
    “好,如果還有問題的話,我再找您吧?!蓖跸蛑谢卮鸬?。

    ……

    深夜。

    陳正一行人也是確定了行程,這幾天由牛玉鵬帶領(lǐng)他們?nèi)ジ浇奶K市和杭市轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn),領(lǐng)略一番華夏的風(fēng)景,而李東則留在廠里,和財(cái)務(wù)、法務(wù)共同商討擬定股份轉(zhuǎn)讓問題。

    王向中躺在床上,翻來覆去地總是覺得有些睡不著。

    他有點(diǎn)摸不清接下來要走的路,林堅(jiān)博士看不上這些80年代的康尼光刻機(jī),也就意味著自己無法留下對(duì)方這種人才,也就得不到浸潤式光刻技術(shù)的核心技術(shù)參數(shù)了。

    但現(xiàn)在一沒有工業(yè)基礎(chǔ),二沒有錢,1998年想要通過互聯(lián)網(wǎng)或機(jī)械工業(yè)搞個(gè)幾十億,基本是不大可能的。

    有什么辦法能讓自己搞到錢的同時(shí),還能提前把芯片制造這件事給往前推呢?

    即便是王向中,躺在床上苦思冥想了很久,也最終不得其神。

    他嘆了一口氣,看了看一旁的手機(jī)。上輩子自己還是個(gè)中年人的時(shí)候,晚上也經(jīng)常睡不著,就會(huì)打開智能手機(jī)聽會(huì)歌。

    但現(xiàn)在的手機(jī),連個(gè)顯示屏都沒有,相比智能手機(jī)的差距實(shí)在是太大了,想要聽歌還只能買一套CD播放器,說實(shí)話CD播放器都不一定買得到,搞不好還只能買個(gè)磁帶播放器。

    等等,智能手機(jī)?

    王向中靈感突現(xiàn),自己為什么不把智能手機(jī)給提前研發(fā)出來呢?

    智能手機(jī)相比功能手機(jī)在外部的區(qū)別主要有兩個(gè),第一是處理器的運(yùn)算能力更強(qiáng),第二就是有配套的操作系統(tǒng)以及軟件生態(tài)。

    如果想要發(fā)展一塊合格的商業(yè)芯片的話,那芯片所配套的商品,也同時(shí)必須流行起來。

    就好像英廠和微程一般,英廠的崛起離不開它的X86架構(gòu),而X86架構(gòu)的崛起離不開Windows操作系統(tǒng),或者說Q廠和布谷公司一般,Q廠的崛起離不開ARM架構(gòu),而ARM架構(gòu)正是布谷公司旗下機(jī)器人操作系統(tǒng)給硬生生帶起來的。

    在此之前,ARM架構(gòu)的芯片只在嵌入式和工業(yè)設(shè)備上有所發(fā)展。

    要知道其實(shí)光刻機(jī)制造和研發(fā)是不賺錢的,光刻膠也不賺錢,鏡頭更不賺錢,西方國家之所以熱衷于把這幾項(xiàng)核心科技牢牢掌握在手里,為的就是保住它的最終成品——芯片的壟斷權(quán)。

    如果自己能利用現(xiàn)在晶華0.5微米制程的這些光刻機(jī)設(shè)備,做一個(gè)EDA軟件,然后利用EDA軟件設(shè)計(jì)一款獨(dú)屬于華夏的CPU架構(gòu),然后再借此芯片制造一款智能手機(jī),通過自己掌握的思想和理念,迅速占領(lǐng)市場(chǎng),那資金和名氣不就都有了嗎?

    到時(shí)候,自己的智能手機(jī)坐穩(wěn)江山,連帶著芯片一起賺了錢,還能帶著軟件一起賺錢,這簡直是和自己目前想法完全一致的商品!

    一想到這,王向中也是有些坐不住了,也是立馬坐起了身來,打開臺(tái)燈,開始謀劃起來……