光刻機(jī)內(nèi)部的透鏡組,一般是由十余塊凸透鏡和凹透鏡疊加組成,這款康尼NSR-1010g光刻機(jī)的透鏡組高度大概在一米左右。
其中凸透鏡負(fù)責(zé)控制焦距和成像距離,而凹透鏡負(fù)責(zé)控制透鏡色散以及像差,以保證最終圖像能夠準(zhǔn)確地投射在晶圓之上。
“我們先通過(guò)畫圖和測(cè)算,得到現(xiàn)有透鏡組的數(shù)值孔徑,接著再將每一塊透鏡設(shè)置為變量,通過(guò)位移和拆卸,來(lái)測(cè)算每一塊透鏡對(duì)于整體的影響和差別,最后整合實(shí)驗(yàn)結(jié)果,通過(guò)改變透鏡組內(nèi)部結(jié)構(gòu),來(lái)提升光刻機(jī)本身整體的分辨率?!蓖跸蛑忻嫔珖?yán)峻地說(shuō)道。
“我也沒(méi)有設(shè)置什么非常困難的目標(biāo),只要盡量讓孔徑數(shù)值盡量增大就可以了?!?br/>
聽完這番話,臺(tái)下的工程師和研究生們都陷入了沉默當(dāng)中。
顯然,王向中的計(jì)劃是可行的。不過(guò)這個(gè)任務(wù)的難度太大了,首先是物理層面,現(xiàn)在的透鏡組是由康尼的研發(fā)工程師設(shè)計(jì)調(diào)校好的,盡管水木大學(xué)的研究生們擁有豐富的理論知識(shí),但這真正地上手操作還是頭一遭,能不能真的把這件事情給干好還是一個(gè)未知數(shù)。
而晶華內(nèi)部的工程部主要涉獵的還是晶圓制造部分,無(wú)論是PE工程師(Process Engineer,工藝工程師)還是IE工程師,對(duì)于光刻機(jī)本身構(gòu)造的了解和改造能力都是極為有限的,他們主要負(fù)責(zé)的部分還是生產(chǎn)線其它流程的優(yōu)化和改良,只對(duì)提供測(cè)試數(shù)據(jù)這件事情上有所幫助.
見到眾人都陷入了沉默中,王向中繼續(xù)說(shuō)道:“參考康尼NSR-2005i9c,同為步進(jìn)式光刻機(jī),想要讓工藝節(jié)點(diǎn)下降到0.5微米以下,數(shù)值孔徑就必須達(dá)到0.5左右,的確是挑戰(zhàn)不小。”
“可是……”臺(tái)下一個(gè)研究生猶豫了半天,最終還是舉手說(shuō)道:“要是失敗了怎么辦……”
“失???”王向中輕輕一笑,“勝敗乃兵家常事,失敗也是很正常的,又不要你們出錢,你們只要盡量把事情給辦好就行。在接下來(lái)的日子,我會(huì)盡量指導(dǎo)你們開展研究工作……”
指導(dǎo)?
聽到這狂妄的用詞,臺(tái)下的研究生們?cè)僖淮握ㄩ_了鍋。
“王師弟不會(huì)在開玩笑吧?”一個(gè)身著白色襯衫的青年頗有玩味地把玩著手中的鋼筆,似笑非笑地盯著王向中,“你,來(lái)指導(dǎo)我們?我沒(méi)有聽錯(cuò)吧?”
“你有什么建議嗎?”王向中見狀,也只是臉色淡然地回應(yīng)道。
“據(jù)我所知,王師弟現(xiàn)在不過(guò)還在讀大一吧?”青年笑著回應(yīng)道,“雖然我知道你在軟件方面頗有造詣,但是改良光刻機(jī)可不是上實(shí)驗(yàn)室寫代碼,寫幾個(gè)for函數(shù)就能解決問(wèn)題?!?br/>
“哦?”王向中眉頭一挑,“那你倒是說(shuō)說(shuō)你的看法?”
“我認(rèn)為,想要做好一件工作,必須得有一個(gè)能扛得起大旗的主事人,既然葉老愿意把機(jī)會(huì)讓給年輕人,我想這個(gè)人不應(yīng)該是你?!鼻嗄昀^續(xù)說(shuō)道,咄咄逼人之意已昭然若視。
王向中見到青年的一番話,心中也是冷笑一聲,沒(méi)想到這么快就有人忍不住要跳出來(lái)搞內(nèi)斗了。
有人的地方就有江湖,在哪里都少不了內(nèi)部爭(zhēng)斗,沽名釣譽(yù)的人總是一個(gè)接一個(gè)出現(xiàn),但是現(xiàn)在他并沒(méi)有耐心,也沒(méi)有時(shí)間和這幫人斗下去了。
他表面上波瀾不驚,只是依然臉色淡然地回應(yīng)道:“所以呢?”
“我認(rèn)為大家應(yīng)該坐下來(lái),好好投個(gè)票,決定一下由誰(shuí)來(lái)做這個(gè)主?!鼻嗄瓯砻媛龡l斯理道,“自我介紹一下,我叫劉兵,現(xiàn)在在物理工程系吳光教授手下讀博二,主攻方向是光學(xué)應(yīng)用,我想我應(yīng)該有資格成為主事人的候選人吧?”
聽到劉兵的一番話,不少人也是暗暗點(diǎn)了點(diǎn)頭,這個(gè)劉兵在水木大學(xué)內(nèi)名氣不小,將來(lái)也必定是華夏物理學(xué)界的泰斗級(jí)人物,由他來(lái)帶領(lǐng)整個(gè)團(tuán)隊(duì)自然是比王向中來(lái)得好。
盡管王向中在剛才的講話中展露了他不少的學(xué)識(shí),但他畢竟太年輕,而且為人也狂妄,一看就成不了什么大事。
王向中倒也不惱,只是笑盈盈地點(diǎn)了點(diǎn)頭,將視線聚焦在劉兵身上:“說(shuō)得不錯(cuò),你確實(shí)有資格成為主事人。”
劉兵見到王向中服了軟,心中也是大喜,臉上也是不禁露出幾分喜色,于是美滋滋地說(shuō)道:“看來(lái)王師弟還是識(shí)大體的,既然王師弟愿意讓賢,我一定會(huì)好好照顧你的,放心?!?br/>
“謝劉師兄夸獎(jiǎng),”王向中冷笑一聲,面色陡然一變,“不過(guò)很遺憾,現(xiàn)在我才是主事人,下午你自己買張火車票回去吧,研究組不歡迎你這號(hào)貨色。”
“啥?”劉兵聽到王向中這番話,直接也是傻了眼,似乎是有些不敢相信自己的耳朵。
其它的研究生也是紛紛色變,皆是以不可思議的眼光看向王向中。
“你居然敢把我踢出研究組?”劉兵先是愣了片刻,旋即一股怒火涌上心頭,大聲怒吼道:“你是什么東西?居然敢對(duì)我如此無(wú)禮?”
他是做夢(mèng)都沒(méi)想到,這個(gè)王向中竟然這么給臉不要臉,輕描淡寫之下就要把自己給除名。
“葉老,”劉兵握緊了拳頭,整個(gè)人都在止不住地發(fā)抖,“您說(shuō)這事怎么辦?”
葉志華倒是沒(méi)有料到,這個(gè)劉兵竟然把自己當(dāng)成了救星,不過(guò)他也只是淡然一笑,將雙手?jǐn)傞_:“我也沒(méi)辦法,現(xiàn)在向中才是主事人,找我說(shuō)情也沒(méi)用,不如求求向中放你一馬?!?br/>
“你!”此時(shí)劉兵已經(jīng)幾近癲狂了,沒(méi)想到這個(gè)葉志華竟然如此偏袒自己的學(xué)生,簡(jiǎn)直是蛇鼠一窩!
“要想我求你王向中?做夢(mèng)!”他惡狠狠地沖著王向中咆哮道。
不過(guò)王向中顯然不吃這一套,只是仍然神色淡然道:“話說(shuō)完了?請(qǐng)吧?!?br/>
說(shuō)著,還抬手指了指禮堂出口,“出口在那邊,不要忘了把行李收拾好?!?br/>
這番話簡(jiǎn)直是對(duì)劉兵人格的侮辱,他從小到大,到哪里不是處處受人尊敬?即使是在這天才如云的水木大學(xué),他也能如魚得水,輕松踏上榜首的位置,何時(shí)輪得到一個(gè)十八歲的小毛孩來(lái)指揮自己?
“做夢(mèng)!”劉兵已經(jīng)徹底歇斯底里了,指著臺(tái)上的王向中怒罵道:“真是黑暗啊,你一個(gè)十八歲的小娃娃還能當(dāng)什么主事人,肯定是家里有什么關(guān)系……”
而王向中似乎是對(duì)這些話充耳不聞,只是將話筒移到嘴邊:“麻煩保安把無(wú)關(guān)人員請(qǐng)出會(huì)場(chǎng)。”
目送著保安將幾近癲狂的劉兵架了出去,整個(gè)會(huì)場(chǎng)也是陷入了一片寂靜之中。
不少與劉兵相識(shí)的研究生也是攥緊了拳頭,皆是神色緊張地盯著臺(tái)上的王向中,不知道接下來(lái)后者會(huì)做出什么動(dòng)作來(lái)。
“剛才的事情大家也都見到了,”王向中面孔冷峻,眼神掃過(guò)臺(tái)下的每一個(gè)研究生,“我沒(méi)跟你們開玩笑!玩內(nèi)斗的下場(chǎng)就是自己乖乖回家,如果有誰(shuí)不服的,現(xiàn)在就可以收拾東西走人,我絕不阻攔?!?br/>
這話一說(shuō)完,整個(gè)禮堂再度鴉雀無(wú)聲。
此刻無(wú)論是研究生,還是晶華的員工,都是停止了討論,沒(méi)有人敢說(shuō)出一句話來(lái)。
研究生們雖然內(nèi)心極度抗拒王向中這般行徑,但他們此時(shí)并沒(méi)有其它選擇,來(lái)晶華研究組是個(gè)千載難逢的機(jī)會(huì),如果只是因?yàn)檫@點(diǎn)事就放棄了,著實(shí)是可惜,因而也沒(méi)有誰(shuí)愿意替劉兵出頭,或者是自己乖乖回家。
而晶華的員工們則是被王向中這雷霆手段給鎮(zhèn)住了,看看臺(tái)上所有人似乎都隱隱以王向中為核心,再聯(lián)想到前些日子發(fā)生的一切……不敢相信,這會(huì)是一個(gè)十八歲的少年。
王向中見到所有人都不敢說(shuō)話了,也是背過(guò)身去,輕輕嘆了一口氣。
盡管他自己也很厭惡這般手段,也知道自己的做法不對(duì),但眼下只有迅速出手,把其它人狠狠地給鎮(zhèn)住,才能減少未來(lái)可能出現(xiàn)的諸多變故!