“光源嗎……”王向中聞言,也是陷入了思索當(dāng)中。
的確是如林堅(jiān)博士說(shuō)的那般,照明系統(tǒng),也就是光源,才是真正制約光刻水平發(fā)展的關(guān)鍵因素,其它的事情都能想辦法取巧,無(wú)論是浸潤(rùn)式光刻,亦或是衍射光柵,它都是基于現(xiàn)有光源條件下的改良法。
而高壓汞燈的365nm光波波長(zhǎng)就決定了,它不可能制作出100nm以下制程的CPU,具有非常嚴(yán)重的時(shí)代局限性。
現(xiàn)在國(guó)際上最尖端的ArF光刻機(jī)所采用的DUV光源波長(zhǎng)已經(jīng)下降到了193納米,從理論數(shù)值來(lái)計(jì)算,它最高可將分辨率提升到65nm,也就是目前全球最先進(jìn)光刻工藝的極限。
現(xiàn)在用i線光刻機(jī),還用高壓汞燈這一套,不可能斗得過(guò)他們。
“您說(shuō)得有道理,不過(guò)也未必,也許華夏今后幾年就能跟上,把深紫外線照明系統(tǒng)給研究到位呢?”王向中半開(kāi)玩笑道。
林堅(jiān)聞言也是搖了搖頭,道:“深紫外線照明沒(méi)有這么簡(jiǎn)單。我看你們的資料,目前你們還在研究氣壓對(duì)成像系統(tǒng)的影響研究,不要怪我講話難聽(tīng),這種技術(shù)也就只能用于g線和i線光刻機(jī)上?!?br/>
“DUV深紫外線,也就是波長(zhǎng)低于350納米的電磁波,是用不到這項(xiàng)研究的,”他補(bǔ)充道:“尤其是VUV真空紫外(波長(zhǎng)低于350納米的電磁波)技術(shù),只能在真空環(huán)境下使用,所以和氣壓毫無(wú)關(guān)系,這個(gè)你明白吧?”
“明白?!蓖跸蛑新勓砸彩菄@了一口氣,要不是因?yàn)闆](méi)有其它辦法,誰(shuí)會(huì)愿意一直把目光聚焦于i線光刻機(jī)的改良啊?
“我聽(tīng)陳正他講過(guò),你們?cè)谘芯抗饪虣C(jī)改良,所以才把我從阿美瑞肯叫了回來(lái),讓我?guī)湍愕拿?,不過(guò)現(xiàn)在看來(lái),華夏距離先進(jìn)還差得很遠(yuǎn)哦。”林堅(jiān)搖頭道。
這話倒不是在嘲諷華夏的落后,這林堅(jiān)博士所說(shuō)的的確是事實(shí),華夏想要真正自主制造出光刻機(jī),還有很長(zhǎng)的一段路要走。
不過(guò)在理論研究和實(shí)驗(yàn)研究上,此時(shí)的華夏可還一點(diǎn)兒都不輸給西方國(guó)家!
“林博士您多慮了,其實(shí)華夏研究工作還是很到位的,最首先——華夏還是具有制造深紫外線激光器的能力的,至少在實(shí)驗(yàn)室中有這個(gè)能力。”王向中笑道。
“實(shí)驗(yàn)室里能造出來(lái)的意義不大啊,”林堅(jiān)倒是對(duì)這個(gè)說(shuō)法感到并不意外,在實(shí)驗(yàn)室不計(jì)成本地做一套零部件,以華夏的能力還是可以的,“只要不能量產(chǎn),再厲害的技術(shù)也只是紙上談兵而已?!?br/>
“沒(méi)關(guān)系,路都是一步一步走出來(lái)的嘛,”王向中倒是很樂(lè)觀,“我們改進(jìn)康尼的光刻機(jī)肯定是用不到換光源模塊了,如果要用得著這玩意的話,就必須開(kāi)始獨(dú)立自主制造光刻機(jī)了?!?br/>
“啥?”林堅(jiān)聽(tīng)得眼睛都快發(fā)直了,“你說(shuō)話怎么這么靠北哦,還獨(dú)立自主制造光刻機(jī),目前能把一塊鏡片做好都不錯(cuò)了?!?br/>
王向中聽(tīng)到林堅(jiān)的質(zhì)疑也是樂(lè)了,顯然對(duì)方還沒(méi)理解過(guò)來(lái)自己的最終愿望和目的所在,于是便避開(kāi)了這個(gè)話題,道:“您看,除了光源以外,咱們還有什么可以改進(jìn)的地方嗎?”
林堅(jiān)聞言也是搖了搖頭,道:“這臺(tái)NSR-1010G已經(jīng)是康尼80年代的淘汰產(chǎn)品了,說(shuō)實(shí)話,我都沒(méi)想過(guò)它的潛力能開(kāi)發(fā)到這個(gè)地步,我想大概是沒(méi)有什么改進(jìn)的必要了,還不如買(mǎi)新的設(shè)備?!?br/>
“好吧……”王向中也沒(méi)想到,林堅(jiān)居然有些瞧不起這堆寶貝——盡管在對(duì)方看來(lái),是一堆破銅爛鐵,不過(guò)在當(dāng)下這個(gè)節(jié)骨眼上,華夏也就這些東西可以用了,自從前年瓦森納協(xié)議一簽之后,華夏就再也沒(méi)進(jìn)口過(guò)任何高精尖產(chǎn)品。
“不過(guò)我還是想請(qǐng)教您一個(gè)問(wèn)題,假如說(shuō),我真的想自主研發(fā)一款DUV接近式光刻機(jī),那我應(yīng)該先做什么?”他神情嚴(yán)肅,目光中閃爍著前所未有的認(rèn)真神色。
林堅(jiān)本來(lái)想回應(yīng)一句先做夢(mèng),不過(guò)在看到對(duì)方那滿是認(rèn)真神色的光芒后,也是愣了片刻,旋即輕輕嘆了一口氣,道:“如果真的要做光刻機(jī)的話,我的建議是先找激光器、鏡頭和光刻膠這三個(gè)突破口,有了這三個(gè)東西以后,其它的電機(jī)和機(jī)械結(jié)構(gòu)之類(lèi)的東西,做起來(lái)比較更容易一些。”
“好,如果還有問(wèn)題的話,我再找您吧?!蓖跸蛑谢卮鸬馈?br/>
……
深夜。
陳正一行人也是確定了行程,這幾天由牛玉鵬帶領(lǐng)他們?nèi)ジ浇奶K市和杭市轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn),領(lǐng)略一番華夏的風(fēng)景,而李東則留在廠里,和財(cái)務(wù)、法務(wù)共同商討擬定股份轉(zhuǎn)讓問(wèn)題。
王向中躺在床上,翻來(lái)覆去地總是覺(jué)得有些睡不著。
他有點(diǎn)摸不清接下來(lái)要走的路,林堅(jiān)博士看不上這些80年代的康尼光刻機(jī),也就意味著自己無(wú)法留下對(duì)方這種人才,也就得不到浸潤(rùn)式光刻技術(shù)的核心技術(shù)參數(shù)了。
但現(xiàn)在一沒(méi)有工業(yè)基礎(chǔ),二沒(méi)有錢(qián),1998年想要通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)或機(jī)械工業(yè)搞個(gè)幾十億,基本是不大可能的。
有什么辦法能讓自己搞到錢(qián)的同時(shí),還能提前把芯片制造這件事給往前推呢?
即便是王向中,躺在床上苦思冥想了很久,也最終不得其神。
他嘆了一口氣,看了看一旁的手機(jī)。上輩子自己還是個(gè)中年人的時(shí)候,晚上也經(jīng)常睡不著,就會(huì)打開(kāi)智能手機(jī)聽(tīng)會(huì)歌。
但現(xiàn)在的手機(jī),連個(gè)顯示屏都沒(méi)有,相比智能手機(jī)的差距實(shí)在是太大了,想要聽(tīng)歌還只能買(mǎi)一套CD播放器,說(shuō)實(shí)話CD播放器都不一定買(mǎi)得到,搞不好還只能買(mǎi)個(gè)磁帶播放器。
等等,智能手機(jī)?
王向中靈感突現(xiàn),自己為什么不把智能手機(jī)給提前研發(fā)出來(lái)呢?
智能手機(jī)相比功能手機(jī)在外部的區(qū)別主要有兩個(gè),第一是處理器的運(yùn)算能力更強(qiáng),第二就是有配套的操作系統(tǒng)以及軟件生態(tài)。
如果想要發(fā)展一塊合格的商業(yè)芯片的話,那芯片所配套的商品,也同時(shí)必須流行起來(lái)。
就好像英廠和微程一般,英廠的崛起離不開(kāi)它的X86架構(gòu),而X86架構(gòu)的崛起離不開(kāi)Windows操作系統(tǒng),或者說(shuō)Q廠和布谷公司一般,Q廠的崛起離不開(kāi)ARM架構(gòu),而ARM架構(gòu)正是布谷公司旗下機(jī)器人操作系統(tǒng)給硬生生帶起來(lái)的。
在此之前,ARM架構(gòu)的芯片只在嵌入式和工業(yè)設(shè)備上有所發(fā)展。
要知道其實(shí)光刻機(jī)制造和研發(fā)是不賺錢(qián)的,光刻膠也不賺錢(qián),鏡頭更不賺錢(qián),西方國(guó)家之所以熱衷于把這幾項(xiàng)核心科技牢牢掌握在手里,為的就是保住它的最終成品——芯片的壟斷權(quán)。
如果自己能利用現(xiàn)在晶華0.5微米制程的這些光刻機(jī)設(shè)備,做一個(gè)EDA軟件,然后利用EDA軟件設(shè)計(jì)一款獨(dú)屬于華夏的CPU架構(gòu),然后再借此芯片制造一款智能手機(jī),通過(guò)自己掌握的思想和理念,迅速占領(lǐng)市場(chǎng),那資金和名氣不就都有了嗎?
到時(shí)候,自己的智能手機(jī)坐穩(wěn)江山,連帶著芯片一起賺了錢(qián),還能帶著軟件一起賺錢(qián),這簡(jiǎn)直是和自己目前想法完全一致的商品!
一想到這,王向中也是有些坐不住了,也是立馬坐起了身來(lái),打開(kāi)臺(tái)燈,開(kāi)始謀劃起來(lái)……