“你怎么知道采用ArF技術(shù)會(huì)造成更多的線邊波動(dòng)和不規(guī)則性？
關(guān)于ArF技術(shù)路線，在IEEE的雜志上有，但是無論是尼康還是佳能的工程師發(fā)表在上面的論文，都只說了好處沒有說缺陷?！绷直緢?jiān)驚訝地問。
周新說：“尼康和佳能為了誤導(dǎo)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，故意不談ArF技術(shù)路線的缺點(diǎn)。
為的就是讓競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手也踩到這個(gè)坑里去。
他們已經(jīng)投入了大筆研發(fā)經(jīng)費(fèi)到ArF技術(shù)路線，沒有找到辦法解決ArF光源帶來的線邊波動(dòng)和不規(guī)則性問題，所以他們認(rèn)為其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手也解決不了這個(gè)問題?！?br/>
林本堅(jiān)默默點(diǎn)頭：“沒錯(cuò)。
就是這樣?！?br/>
周新繼續(xù)說：“在技術(shù)路線上誤導(dǎo)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，這不是集成電路領(lǐng)域的常規(guī)操作嗎？”
林本堅(jiān)還是很好奇，他知道ArF技術(shù)路線的缺陷，是因?yàn)樗麖氖逻@個(gè)領(lǐng)域的研究超過二十年，他有大量的人脈。
由于保密協(xié)議的緣故，他的朋友無法直接告訴他，只能通過暗示的方式，向他透露ArF技術(shù)路線有重大缺陷。
他對(duì)此也只是猜測(cè)，沒有證據(jù)的猜測(cè)。
為什么周新能夠說得如此篤定，并且把ArF技術(shù)路線的缺陷也說得如此清楚。
要知道有資格進(jìn)行ArF技術(shù)路線實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)室，也就那幾家光刻機(jī)公司。
周新戰(zhàn)術(shù)喝水之后說：“林伯，我知道你在想什么，我是不是買通了尼康的技術(shù)人員，從他們那獲得了技術(shù)機(jī)密。
實(shí)際上ArF技術(shù)路線的缺陷，這很容易就推理出來。
ArF光源的波長(zhǎng)為193納米，相較于KrF光源的248納米波長(zhǎng)更短。短波長(zhǎng)光源在光刻過程中，顯然會(huì)受到更嚴(yán)重的散射、衍射和光學(xué)近場(chǎng)效應(yīng)的影響，導(dǎo)致圖案?jìng)鬏斶^程中的線邊波動(dòng)和不規(guī)則性增加。
同時(shí)使用ArF光源的光刻技術(shù)用于更先進(jìn)的制程節(jié)點(diǎn)中，這導(dǎo)致晶圓需要實(shí)現(xiàn)更高的分辨率。
隨著尺寸的縮小，光刻過程中的圖案邊緣更容易受到光學(xué)近場(chǎng)效應(yīng)、衍射和光刻膠吸收等因素的影響，從而導(dǎo)致線邊波動(dòng)和不規(guī)則性。
這是基于物理知識(shí)的推論?！?br/>
林本堅(jiān)鼓掌，“精彩的推演和敏銳的洞察力。
當(dāng)時(shí)正明和我說他從燕大找到了天才學(xué)生的時(shí)候，我還在想到底有多天才，讓他那么得意。
你在這方面的天賦比我猜測(cè)的還要更出色。
伱剛剛說的還差了兩點(diǎn)。
一點(diǎn)是ArF光源的波長(zhǎng)更容易被光刻膠吸收，這會(huì)導(dǎo)致光刻膠的曝光不均勻，進(jìn)而影響成像質(zhì)量。所以需要專門針對(duì)ArF光源設(shè)計(jì)專門的光刻膠。
但是專門針對(duì)ArF光源設(shè)計(jì)光刻膠，來減少吸收呢，新光刻膠又很有可能會(huì)進(jìn)一步造成線邊波動(dòng)和不規(guī)則性。
另外采用ArF來構(gòu)建先進(jìn)制程，會(huì)采用多重曝光技術(shù)、相位移光掩膜技術(shù)和偏振光技術(shù)等。
這些技術(shù)一定程度上又會(huì)增加線邊波動(dòng)和不規(guī)則性。
所以造成線邊波動(dòng)的原因比你猜測(cè)的更多?！?br/>
周新問：“可是有這么多困難，為什么前輩你還是看好ArF路線？”
周新怎么知道林本堅(jiān)看好ArF技術(shù)路線，因?yàn)榱直緢?jiān)這次在參加光學(xué)大會(huì)接受采訪的時(shí)候自己說的。
“是幫光刻機(jī)公司打掩護(hù)嗎？”
林本堅(jiān)笑了：“我已經(jīng)從IBM離職了，IBM這幾年也幾乎沒有在光刻機(jī)領(lǐng)域繼續(xù)投入了。
我又沒有為尼康或者佳能工作，為什么要幫他們打掩護(hù)。
我當(dāng)然是從我內(nèi)心出發(fā)更加看好ArF技術(shù)路線。
我們剛剛說的是ArF的缺點(diǎn)，這些缺點(diǎn)只是暫時(shí)的。
在KrF光源代替g線和i線的過程中，同樣有很多困難?！?br/>
g線是436nm波長(zhǎng)的光源，i線是365nm波長(zhǎng)的光源。
“相對(duì)于g線和i線，KrF需要新的光刻膠和抗反射涂層材料來適應(yīng)KrF光源的特性。
同時(shí)KrF要求更高性能的光學(xué)系統(tǒng)和光掩膜材料。當(dāng)時(shí)需要采用更先進(jìn)的透鏡和光學(xué)元件，以實(shí)現(xiàn)更高的數(shù)值孔徑和分辨率。
此外，光掩膜材料也需要具有更低的散射和吸收特性。
KrF還需要優(yōu)化曝光過程，以提高成像質(zhì)量。我們當(dāng)時(shí)主要采用了雙重曝光和離焦曝光技術(shù)來降低光刻誤差。
讓我想想，對(duì)了，我們當(dāng)時(shí)在研發(fā)KrF光源的時(shí)候還要對(duì)控制進(jìn)行考慮，因?yàn)镵rF實(shí)現(xiàn)了更高的分辨率，所以需要更嚴(yán)格的制程控制要求。
需要對(duì)光刻膠涂覆厚度、曝光劑量、顯影過程等參數(shù)進(jìn)行更精確的控制，以保證光刻成像質(zhì)量和產(chǎn)量。
這么多困難，我們照樣克服了，最終KrF光源代替了g線和i線，成為了今天的最先進(jìn)的制程光源。
同樣未來短波長(zhǎng)的光源勢(shì)必然會(huì)代替長(zhǎng)波長(zhǎng)的光源，這是技術(shù)進(jìn)步的必然。
我們剛剛討論的困難只是暫時(shí)的困難?！?br/>
ASML、尼康和佳能只是暫緩了在ArF上的投入，而不是停止了在ArF技術(shù)路線上的投入。
后來ASML實(shí)現(xiàn)彎道超車，也是因?yàn)樗麄冞x擇了正確的技術(shù)路線，ArF光源以水為介質(zhì)，在光刻膠上面抹一層水。
水的介質(zhì)折射率是1.44，193納米÷1.44≈134納米，ArF光源的波長(zhǎng)進(jìn)一步減少了。
ASML能夠干掉尼康和佳能，壟斷光刻機(jī)領(lǐng)域，他們?cè)诩夹g(shù)路線的兩個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)都做出了正確的選擇。
應(yīng)該穩(wěn)健的時(shí)候他們比尼康穩(wěn)健，從而在光刻機(jī)市場(chǎng)站穩(wěn)了腳跟。
應(yīng)該激進(jìn)的時(shí)候他們比尼康激進(jìn)，從而占據(jù)了高端市場(chǎng)，把高額利潤(rùn)全部吃掉了，后續(xù)一直保持住了技術(shù)領(lǐng)先。
ArF技術(shù)路線突破之后，ArF的波長(zhǎng)是193nm，他最多能夠制造65nm的芯片。
如果要制造40nm制程以下的芯片，需要找到160nm以下的光源。
尼康和佳能等企業(yè)選擇的是157nm的F2激光，而ASML找到了光源做介質(zhì)直接一步到位了。
當(dāng)然沒有加一層水那么簡(jiǎn)單。
“我關(guān)于ArF技術(shù)路線一直認(rèn)為是有辦法解決的。
首先是需要專門針對(duì)ArF光源設(shè)計(jì)對(duì)應(yīng)的光刻膠，其次是研發(fā)抗反射涂層，然后是改進(jìn)光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)，找蔡司定制更先進(jìn)的透鏡。
來實(shí)現(xiàn)更高的數(shù)值孔徑和分辨率。
同時(shí)在曝光過程中進(jìn)行優(yōu)化。我專門針對(duì)ArF光源設(shè)計(jì)了一套分辨率增強(qiáng)技術(shù)。
包括輔助特征、離軸照明、雙曝光技術(shù)等，用以改善圖案?jìng)鬏斮|(zhì)量和提高分辨率?！绷直緢?jiān)很興奮，難得見到這么懂ArF技術(shù)的同行。
其他懂這玩意的都簽了保密協(xié)議，林本堅(jiān)和他們聊的很不盡興。
華國(guó)差的不僅僅是光刻機(jī)，差的是整個(gè)高端制造業(yè)，即便能造出光刻機(jī)，光學(xué)鏡頭也能卡你脖子。
不過蔡司是德意志企業(yè)而且沒上市，阿美利肯的長(zhǎng)臂管轄管不到蔡司。
周新聽完之后感慨對(duì)方不愧是大師級(jí)人物，還沒有加入臺(tái)積電已經(jīng)有完整的計(jì)劃了。
同樣一件事，有的人是紙上談兵，有的人是決勝千里之外。
華國(guó)價(jià)值觀以結(jié)果為導(dǎo)向，周新知道林本堅(jiān)未來的成就，更別說林本堅(jiān)說的這些都是絕對(duì)的干貨。
又和林本堅(jiān)探討了一番ArF技術(shù)路線的未來后，周新問：“林伯，我打算成立一家光刻機(jī)公司，我需要真正懂行的人來幫我。
你有沒有意愿來幫我做事，我給你的職位是研發(fā)主觀。
首批研發(fā)資金十億美元，我給你百分之二十的股份，但是你加入之后需要簽競(jìng)業(yè)協(xié)議，同時(shí)我們的光刻機(jī)公司會(huì)放在華國(guó)。”
林本堅(jiān)聽完前半句話想馬上答應(yīng)下來，十億美元的研發(fā)資金，百分之二十的股份。
這是何等的信任，光是十億美元的研發(fā)資金，這家企業(yè)也最少值10億美元。
直接就是給你兩個(gè)億。
聽完后半句他心一涼：“Newman，我知道你是華國(guó)人，希望幫助華國(guó)在半導(dǎo)體領(lǐng)域有所發(fā)展。
我也是華裔，在有能力和有機(jī)會(huì)的前提下，我同樣希望為華國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展進(jìn)步貢獻(xiàn)自己的力量。
但是光刻機(jī)的研發(fā)，非常依賴于和芯片制造廠商之間的合作。
華國(guó)沒有什么成熟的芯片制造廠商，我們把研發(fā)基地放在華國(guó)，很難有所進(jìn)展。
不管我是否答應(yīng)你的條件，我都建議你放在彎彎或者阿美利肯。
彎彎有臺(tái)積電，阿美利肯有英特爾的芯片代工廠。
在這兩個(gè)地方，你才有機(jī)會(huì)把你的產(chǎn)品在生產(chǎn)環(huán)境中經(jīng)過充分的實(shí)驗(yàn)?！?br/>
ASML的研發(fā)中心遍布全球。
周新說：“世大半導(dǎo)體的張汝京在籌備回華國(guó)成立芯片代工廠的事情。
他們的選址、資金和團(tuán)隊(duì)都已經(jīng)就位了。
我們前期籌備階段和實(shí)驗(yàn)室研發(fā)階段，這個(gè)時(shí)期是不需要和代工廠合作的。
我們的進(jìn)度會(huì)比張汝京那邊的進(jìn)度更慢，等到我們的實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)物研發(fā)出來之后，正好可以送到他們那里去進(jìn)行驗(yàn)證。
張汝京的芯片代工廠，剛剛起步的時(shí)候我們才有機(jī)會(huì)進(jìn)去。
無論是臺(tái)積電、英特爾還是三星，他們都很難給一家新成立的光刻機(jī)公司機(jī)會(huì)。
讓我們的實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)物介入他們的生產(chǎn)流程中。
反而在我看來，華國(guó)才是機(jī)會(huì)所在，我們需要借助華國(guó)的代工廠打出名氣，然后才有機(jī)會(huì)和其他的芯片代工廠合作。
這也是農(nóng)村包圍城市的打法?！?br/>
為什么華國(guó)的光刻機(jī)是實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)物，因?yàn)闆]有在生產(chǎn)環(huán)境中經(jīng)過充分驗(yàn)證。
因此ASML對(duì)華國(guó)禁運(yùn)從某種意義上來說是好事，如果不禁運(yùn)，華國(guó)自主研發(fā)的光刻機(jī)永遠(yuǎn)都不會(huì)有機(jī)會(huì)進(jìn)入到生產(chǎn)流程中。
林本堅(jiān)說：“你要成立的光刻機(jī)公司現(xiàn)在有多少人？”
周新說：“你是第一個(gè)，你負(fù)責(zé)把研發(fā)團(tuán)隊(duì)搭建起來，你是研發(fā)主管。
我會(huì)給你完全的信任和自主權(quán)。
我只會(huì)在研發(fā)方向上給我的建議和思考。”
林本堅(jiān)聽完有點(diǎn)無語，說白了只有錢沒有人。
“我需要時(shí)間來思考。
Newman既然你邀請(qǐng)了我，那么我也不介意把話說得更直接。
對(duì)于一家光刻機(jī)公司來說，十億美元可能只是前期研發(fā)的投入，如果我們不能早點(diǎn)實(shí)現(xiàn)盈虧平衡，不能制造出可以進(jìn)入生產(chǎn)環(huán)境的光刻機(jī)。
那未來需要你不斷投入研發(fā)費(fèi)用，或者直接解散公司。
因此10億美元只是入場(chǎng)券，靠產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)盈虧平衡才代表這家光刻機(jī)公司活了下來。
其次即便我們成立公司，還是有很多無法繞過的專利需要向尼康、ASML、IBM、德州儀器這些公司買，購(gòu)買專利使用權(quán)。
我們不可能所有技術(shù)都靠自己來研發(fā)。
當(dāng)然未來我們研發(fā)出來的技術(shù)，他們要使用也需要向我們繳納專利使用費(fèi)。
另外你開的待遇很高，我還是第一次收到這么高待遇的offer。
從待遇的角度出發(fā)，絕對(duì)是能夠讓我滿意的。
我成立的林創(chuàng)都快八年時(shí)間了，估值連五千萬美元都沒有。
只是我一個(gè)人主導(dǎo)這件事，我不確定自己能干好。
我其實(shí)沒有太多管理的經(jīng)驗(yàn)，我只管理過幾個(gè)人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，管理一家光刻機(jī)公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，這個(gè)規(guī)模的管理工作我沒有做過。
負(fù)責(zé)一家光刻機(jī)公司所有研發(fā)人員從零開始的團(tuán)隊(duì)構(gòu)建，我就更沒有做過了。
我擔(dān)心自己做不好?！?br/>
周新不擔(dān)心，林本堅(jiān)加入臺(tái)積電之后最高做到了臺(tái)積電的副總裁。
臺(tái)積電這個(gè)體量的公司，副總裁可比他們要成立的光刻機(jī)公司要管的人多得多。
周新說：“我充分地相信你有這個(gè)能力。
管幾個(gè)人和管幾十個(gè)人，其實(shí)差不多，你只需要把主管管好就行。
另外我會(huì)幫你找一個(gè)足夠出色的幫手，他會(huì)和你一起負(fù)責(zé)公司的組建和管理?！?br/>
林本堅(jiān)好奇問：“誰？我認(rèn)識(shí)嗎？正明嗎？
你勸他也離開伯克利，來和你一起創(chuàng)業(yè)嗎？
正明比我要好一些，思略半導(dǎo)體要比林創(chuàng)更有價(jià)值，估值也要高得多。
正明現(xiàn)在應(yīng)該還沒有另外再開始管一家公司的念頭吧”
周新?lián)u頭：“不是胡教授，我不知道你認(rèn)不認(rèn)識(shí)。
他是彎彎人，之前在加州那邊的半導(dǎo)體公司做模擬IC設(shè)計(jì)。
關(guān)建英，你認(rèn)識(shí)嗎？”
林本堅(jiān)說：“我好像有點(diǎn)印象，但是肯定不熟，最多是見過。”
是的，周新剛得知的消息，老關(guān)被人趕出來了。
這是補(bǔ)昨天的，今天更了1w，昨天的4k加今天的6k。
本來中間一度想擺爛，最終還是咬牙堅(jiān)持下來了。
即便周末，寫一萬字還是很累。
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(本章完)
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